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日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐
C1-007（溫度600℃、氧濃度20ppm）
● 用途：電子無器件高溫處理工藝
● 高工作溫度360℃和600℃、氧濃度20ppm以下
● 程序運轉功能，有自動/手動兩種操作模式
● 快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
● 配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等
● 在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置

C1-008（溫度500℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm）
● 用途：光刻工藝后段，光刻膠固化
● 高工作溫度360℃和600℃、潔凈度100級、氧濃度20ppm以下
● 程序運轉功能，有自動/手動兩種操作模式
● 快速升溫、降溫，降溫時可采用空冷、空冷加水冷兩種方式
● 配置了自動門鎖、數字式壓力表、數字式流量計等全不銹鋼材質
● 在安全方面，配置了自動過升防止、過升防止器、氮氣壓力異常、氮氣流量異常、過電流漏電保護斷路器等安全裝置

日本雅瑪拓C1-007/C1-008厭氧高溫氣氛爐技術規格